大理石平臺本身屬于精密度較高的量具，在各種檢驗工作中都是理想的基準面，大理石平臺精度可劃分為0級、00級、000級三個精度等級。三坐標用的大理石平臺有著較高的要求，首先不可以有坑洼、劃痕、掉角，在精度方面也是有著較高的要求，一般采用00級大理石平臺。
大理石平臺精度參照個先進國家標準，平面度公差依：GB4987-85標準：
000級=1×(1+d/1000)um
00級=2×(1+d/1000)um
0級=4×(1+d/1000)um
1級=8×(1+d/1000)um
（d為對角線mm）（測量溫度一般在20±2℃）
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